彈簧式測試探針通常包含了三個零部件。這些零部件必須如同微電子領域所要求的那樣精確制造而成。 

1、針頭部分

針頭主要起連接作用，并可以同各類針頭一起使用。并盡可能地在測試探針和測試點之間產生較小的接觸電阻以保證測試結果的真實性。作為針頭材料，主要采用的是鋼材和鈹銅，其分別經過硬化處理，如果是非常鈍的針頭形狀，也可使用黃銅材料。 

2、彈簧部分

彈簧作為有效的零部件，即使在數十萬次搭接后（試驗周 期）也能確保必須的接觸力。產品目錄中規(guī)定的額定彈簧力可在建議的工作行程下實現，但因結構、制造公差和使用條件等因素的影響，會出現輕微波動。

3、針套部分

針套對針頭和彈簧進行支撐。測量信號傳輸至探針針套。為了優(yōu)化性能，除了對針套鍍金外，還可以涂覆一層較薄的有機保護層。探針針套用于維護測試治具時方便更換測試探針。可快速進行更換，并且不需要進行布線工作。為此，在側面設有卷邊位置。期間，需注意卷邊點只有在將套管裝入鉆孔后方可實現其較佳功能。也就是說一定要在針套裝入探針板后，才能裝入探針。